1 目的
为使高精度厚度测定仪在两次校准的有效期内，高精度厚度测定仪的关键量值维持良好的置信度，特制定本规程。
2 范围
适用于技术中心高精度厚度测定仪的期间核查。
3 职责
3.1设备管理员根据设备期间核查计划组织相关责任人对高精度厚度测定仪进行期间核查。
3.2技术负责人监督审核高精度厚度测定仪期间核查，并负责组织处理核查发现的不符合项目。
3.3资料管理员负责高精度厚度测定仪核查记录的归档。
4 作业内容
判定依据与期间核查周期，核查项目及其技术要求
4.1判定依据与期间核查周期
本期间核查参考《高精度厚度测定仪操作规程》制定，并以此为判定依据。核查内容覆盖大部分检定规程要求。核查频率每年一次，时间为两次校准之间。
4.2高精度厚度测定仪应在室温10℃—30℃，相对湿度不大于85%的环境条件下进行检定。
厚度计的校准
A1受压测量面的平整性
仔细擦净受压测量面表面,并使他们稍微离开一些,对着明亮的光线能看到缝隙。当从两个相互垂直的方向观察测量面时,该缝隙应是很均匀的。
A2施加于测面的压力
任何适宜于校准施加压力精确度和均匀性的方法都可以使用。
A3厚度块规
厚度值相当于厚度计全量程的10%、30%、50%、70%和90%的专用或标准块规,每个块规的厚度误差不应超过±1 um。
A4测量示值的重复性误差和示值误差
- 技术参数：≤0.5mm，±0.0025mm ; >0.5mm，±0.5%
- 使用仪器和工具：厚度块规
（3） 核查方法：
A4.1当两个受压测量面相互接触时,厚度计的读数应为零,在随后的测量过程中不应重调零点。
A4.2张开两个受压测量面的缝隙﹐然后重新让其相互接触上(见9.4),记录厚度计的读数,重复这步骤至少五次。
A4.3取–块符合A3规定的厚度块规,置于两测量面之间,然后将测量面紧靠在块规上﹐记录厚度计的读数,重复这一步骤至少五次。
A4.4 将其余块规逐一置于两测量面间,重复A4.3的操作步骤。
注:块规应单个使用,不能组合使用。
A4.5重复A4.2的操作步骤。
A4.6在厚度计上读取每一块规的测定数值并计算。
a）测量示值的重复性误差即五个或更多个读数的标准偏差﹔
b)示值误差即五个或更多个读数的平均值与厚度块规之间的差值。
（4）判定标准
计算出的测量示值的重复性误差和示值误差≤0.5mm，±0.0025mm ; >0.5mm，±0.5%之间，则判定测量示值的重复性误差和示值误差合格。
A5受压测量面的平行度
- 技术参数：≤0.002mm
- 使用仪器和工具：厚度块规
- 核查方法：
A5.1将A3规定的厚度块规放入两个测量面间,并尽量使之接近一侧的边缘。然后将测量面紧靠块规,记录厚度计的读数。
A5.2将同一块规置于两测量面间,尽量使之接近与A5.1正好相对的边缘。然后将测量面紧靠块规再次记录厚度计的读数。
A5.3在垂直通过A5.1和A5.2测量点的直径边缘上,重复A5.1和A5.2的操作步骤。A5.4将其余厚度块规逐一重复A5.1、A5.2和A5.3的操作步骤。
注:厚度块规应单个使用,不能组合使用。 - 判定标准
计算出的受压测量面的平行度0.002mm之间，则判定受压测量面的平行度合格。
A6．厚度仪接触压力
- 技术参数：（100±10）kpa
- 使用仪器和工具：压力传感器或20N砝码
- 核查方法
先把仪器传感器和测量头拆下，平放开机，采用压力器或20N砝码进行校对
注：拆下传感器再安装需要调整平衡度，此步骤一般由厂家或第三方计量部门专业人员操作！
判定标准
- 计算出的厚度仪接触压力在（100±10）kpa之间，则判定接触压力合格。
5 期间核查结果
以上核查结果，应填写设备核查记录表，于年底统一归档。在期间核查过程中若发现仪器工作不正常或评定指标未能达到技术要求，应及时通知技术负责人，由技术负责人组织处理核查发现的不符合项目，并组织设备管理员送检，维修后的仪器经检查或检定达到技术性能要求后方能投入使用。
6 相关表单
6.1《仪器设备期间核查记录》